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亚纳米标准压电扫描台S100.xx.C/S、S300.X.c/s系列
- 品牌:卓立汉光
- 货号:
- 产地:通州区
- 供应商报价: 面议
- 北京卓立汉光仪器有限公司 更新时间:2024-03-26 14:48:24
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
- 同类产品常温压电位移台(15件)
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- 详细介绍
亚纳米标准压电扫描台特点:• 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程• 高负载,负载可至500g• 闭环精度优于1nm• 支持超高真空、无磁版本选用命名规则亚纳米标准压电扫描台选型表型号
S100.z.C /S
S300.x.C
S100.xy /xyz.C
运动方向
Z方向
X方向
S100.XY : X,Y方向
S100.XYZ : X,Y,Z 方向
底面尺寸×高度(mm)
40×40×18
50×50×17
55×55×40
主体材料
铝合金 & 不锈钢
自重(g)
150
200
500
运动行程(um)
100(闭环)
300 (开环)
250 ( 闭环)
S100.xy.C :100×100
S100.xyz.C : 100×100 ×100
运动分辨率(nm)
0.2
1
0.2 (开环) 1 (闭环)
运动可重复精度(nm)
± 5
士10
< 10
线性误差
优于0.02%
优于0.1%
优于 0.1%
共振频率(Hz)
500
350
X,Y: 400 ,350
Z: 300
刚性(N/um)
0.5
/
0.5
闭环传感器(闭环版本)
电容式
驱动电压
150V
Max.150 V
150V
推荐使用温度
-20~80°C