「亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列」价格、参数、图片

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产品详情：

特点：

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um

• 外形尺寸，160mmx160 mmx 35 mm

• 闭环分辨率优于0.3nm

• ZD负载 10 kg

• 支持高真空 (HV)和超高真空(UHV) 选件升级

选型表

型号	SH30.xyz.0 /.C
运动方向	X ,Y ,Z 方向
底面尺寸×高度（mm）	160×160×35
主体材料	不锈钢
自重（g）	4000
运动行程（um）	30×30×15
运动分辨率（nm）	0.1(开环) 0.3(闭环)
运动可重复精度（闭环）（nm）	<3
偏摆角度（urad）	20/ 20 / 50
共振频率 (空载)（Hz）	50
ZD负载（kg）	10
闭环传感器（闭环版本）	电容式
驱动电压（V）	150
推荐使用温度	-20 ~ 80 °C

亚纳米高负载压电扫描台SH30.xyz.C系列尺寸图

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