Scannerxx-xy/z极低温压电扫描台
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Goniometerxx-theta/phi极低温线性压电摆动台
特点:




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已咨询173次低温压电位移台
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已咨询212次运动控制器及驱动器
·压电陶瓷堆叠驱动 ·无摩擦柔顺结构导向 ·亚纳米级位置分辨率·内置电容传感器,闭环控制 ·长行程运动范围 ·直接位置检测
·超安静运动 纳米级分辨率 ·全行程运动中,保证通孔·XY一体式组合结构·内置高精度光学位置传感器 ·断电位置自保持 ·可与高精度压电扫描台堆叠组合
超安静运动 ·纳米级分辨率 ·断电位置自保持 ·并联驱动结构 ·内置高精度光学位置传感器 灵活的可定制方案
超安静运动 纳米级分辨率 ·断电位置自保持·内置高精度光学位置传感器 并联驱动结构 高刚性系统
亚纳米级位置分辨率 高速数据采集 高速通讯的位置传感方案
超微小结构 ·超安静运动 ·断电位置自保持 ·纳米级分辨率
超安静运动 ·纳米级分辨率 断电位置自保持内置高精度光学位置传感器 ·多种行程规格
·高性能驱动力 ·大负载垂直提升闭环控制,内置光栅位置传感器 ·直驱传动无间隙·优秀的导向系统 完整运动台设计,方便安装使用