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RTP滑动式快速退火炉

面议 (具体成交价以合同协议为准)
中环 天津 北辰区 2026-04-24 00:42:13
售全国 入驻:11年 等级:铜牌 营业执照已审核
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产品特点:

RTP滑动式快速退火炉,该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验。

产品详情:

产品用途:

该电炉采用红外灯管加热,通过滑动炉体实现快速降温。应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验。

产品特点:

可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体,加之强风冷设计,可对样品进行快速升降温处理;温控精度高,最大升温速率30℃/s;紧凑的台式设计,快速连接法兰,减少了炉管因安装造成损坏的可能,方便操作。

技术参数:

产品名称

RTP滑动式快速退火炉

产品型号

RTP-G11103-K

额定功率

9KW

最高温度

1000℃

工作温度

950℃(<1小时)

石英管尺寸

Φ110*360mm

加热区长度

190mm

恒温区长度

100mm

加热元件

红外灯管

温度控制

国产程序控温系统可编辑50段程序控温

控温定度

±1℃

炉管材质

石英管

滑动距离

355mm

滑动方式

手动

建议升降温速度

30℃-50℃/min

外形尺寸

565*960*665


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