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上海伯东氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏ASM 390

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上海伯东氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏ASM 390 核心参数
最小检漏率 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪 模式: 1X10-8 mbar l/s 响应时间 < 1 s

产品特点

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用

详细介绍

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392
上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 检漏仪 ASM 392 内置2台涡轮分子泵, 可以加速检漏流程, 降低生产设备的停机时间

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用

上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:

 型号

ASM 390

ASM 392

ASM 380 已停产

 检测气体

4He, 3He, H2

 最 小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪 模式: 1X10-8 mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

25 l/s, 内置2台分子泵

7 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最 大压力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 贾女士

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