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上海伯东氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏ASM 390

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上海伯东氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏ASM 390 核心参数
最小检漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪 模式: 1X10-8 mbar l/s 响应时间: < 1 s
详细介绍

移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392
上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 检漏仪 ASM 392 内置2台涡轮分子泵, 可以加速检漏流程, 降低生产设备的停机时间

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用

上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:

 型号

ASM 390

ASM 392

ASM 380 已停产

 检测气体

4He, 3He, H2

 最 小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪 模式: 1X10-8 mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

25 l/s, 内置2台分子泵

7 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最 大压力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm

氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 贾女士

产品优势
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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