上海伯东氦质谱检漏仪光刻机检漏 ASM 310
德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 192T
德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 182
伯东公司德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 142
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
氦质谱检漏仪流量计检漏|伯东Pfeiffer
氦质谱检漏仪光刻机检漏
上海伯东客户日本某生产半导体用光刻机公司, 光刻机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空, 因为设备整体较大, 需要对构成光刻机的真空相关部件进行检漏且要求清洁无油, 满足无尘室使用要求, 为了方便进行快速检漏, 采购伯东 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310.
光刻机检漏方法: 采用真空模式检漏, 漏率值设定为 1x10-11pa m3/s.
1. 通过波纹管与光刻机真空系统连接
2. 使用喷枪, 喷扫管路, 腔体焊缝, 接头等部位, 如果存在超过设定漏率值的狭缝, 检漏仪会时时发出声光报警, 同时在屏幕上显示漏率值.
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要技术参数：
对氦气的最 小检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸枪 模式 1E-8 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸枪 模式 |
氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 | 1.7 m3/h |
检测气体 | 4He , 3He, H2 |
响应时间 | <1s |
对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
氦质谱检漏仪进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
进气口最 大压力 | 15 hPa |
通讯接口 | RS-232 |
工作温度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
尺寸 | 350 X 245 X 141 mm |
重量 | 21 kg (46 lb) |
鉴于信息保密, 若您需要进一步的了解光刻机检漏, 请参考以下联络方式
上海伯东: 贾小姐 101
价格货期电议
上海伯东氦质谱检漏仪光刻机检漏 ASM 310
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步进式光刻 更高的精度 激光主动对焦 6 英寸加工幅面 特征尺寸0.4 μm
本设备是我公司专门针对各大、专院校及科研单位研发使用的一种精密光刻机，主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。
采用AOD激光操控技术，光斑定位精度优于1nm，高精度套刻对准，结构边缘超平滑，可轻松构建1微米以下线宽结构。 先进的AOD激光操控技术，使得DaLI具有超高的激光定位精度（优于1nm），超长的有效寿命，以及极高的稳定性。DaLI主要适用于广泛应用于MEMS、材料科学、微流控、微光学器件及其它微纳加工领域。
主要优势 ► 小巧桌上型系统 ► 掩膜板制作及激光直写 ► 375nm 或405nm 激光源 ► 兼容所有光刻胶 ► 高深宽比: 1 x 20
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
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沪公网安备 31011502008050号