德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 192T
德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 182
伯东公司德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 142
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
氦质谱检漏仪流量计检漏|伯东Pfeiffer
Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310
上海伯东德国普发 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 设计紧凑，占用空间小，前级泵清洁无油，极轻的重量（21kg）和全球通用电压使它成为理想的检漏工具。便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪最轻便紧凑的产品。它集成了德国普发 Pfeiffer 高真空技术在检漏领域超过45年的专业研究和经验。
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 主要优点：
1.集成无油真空系统：隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 + ATH 系列涡轮分子泵
2.氦气抽速 1.1l/s
3.进气口压力 15 hPa
4.大尺寸高亮彩色触摸屏
5.便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 重量仅 21 Kg
6.丰富的可选配件，如吸、遥控器、小推车、标准漏孔等
7.带有可伸缩手柄的灵巧设计
8.可以在任何位置操作：水平或垂直
9.可拆卸式操作面板，带有用于在金属底板上定位的磁铁
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 技术参数：
便携式氦质谱检漏仪 | ASM 310 |
对氦气的最小检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸模式 1E-8 Pa m3/s |
检测模式 | 真空模式和吸模式 |
氦质谱检漏仪无油前级泵抽速 | 1.7m3/h |
检测气体 | 4He , 3He, H2 |
响应时间 | <1s |
对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
氦质谱检漏仪进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
进气口最大压力 | 15 hPa |
通讯接口 | RS-232 |
工作温度 | 10-40 °C |
噪音水平 | < 45 dB (A) |
尺寸 | 350 X 245 X 141 mm |
重量 | 21 kg (46 lb) |
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 尺寸：
便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 常用配件：
a. 无线遥控器 RC 500 WL
触摸显示屏,操作简便,测量数据可保存在 RC 500 WL 内或 U 盘上,适用于 ASM 3xx 检漏仪
b. 吸
5 m 吸,9 cm 刚性喷嘴 (SNC1E1T1)
10 m 吸,9 cm 刚性喷嘴 (SNC2E1T1)
3 m 智能型吸 LP 503
c.运输箱
氦质谱检漏仪 ASM 310 专用运输箱 119594
氦质谱检漏仪 ASM 310 专用两轮手推车 114820
德国普发 Pfeiffer 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 应用：
1.半导体、镀膜、太阳能
2.分析仪器、科研、加速器质谱
3.工业、电厂、化工
4.系统集成
上海伯东客户案例一：便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 科研仪器检漏应用：
氦质谱检漏仪电厂汽轮机组检漏
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上海伯东：叶女士 台湾伯东：王女士
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报价：￥210000
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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