德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 192T
德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 182
伯东公司德国普发Pfeiffer氦质谱检漏仪 ASM 142
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
氦质谱检漏仪流量计检漏|伯东Pfeiffer
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 高性能氦质谱检漏仪 ASM 340, 前级泵可选油泵或干泵或不配前级泵. 此款氦质谱检漏仪是 Pfeiffer HLT 560 550 570, Adixen ASM 142 全新升级款, 入口端压力达到 100 hPa 即可检漏, 双灯丝 ( Y2O3 三氧化二钇) 设计, 可以单独更换损坏的一组灯丝, 整机保证欧洲原装进口.
氦质谱检漏仪 ASM 340 防护等级 IP 20, 适用于工业, 分析研究, 镀膜市场等. ASM 340 氦质谱检漏仪坚固耐用, 抗破大气, 抗震性能极强, 尽可能降低因操作失误带来的风险性. 可反复使用数年仍保证高精度的检漏漏率, ASM 340 紧凑的设计适合串列生产和持续工作.
氦质谱检漏仪 ASM 340 特性
1. 前级泵可选油泵或干泵或不配前级泵, 满足各类应用
2. 高压缩比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s, 检测时间短
3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检测漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
正压模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认漏律
4. 进气口压力 25 hPa, 快速进入检漏模式
5. 触摸式人机界面, 7英寸大屏幕高分辨率移动式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便数据传输
7. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性
8. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等
氦质谱检漏仪 ASM 340 技术参数：
型号 | ASM 340 W | ASM 340 D | ASM 340 I |
进气口法兰 | DN 25 ISO-KF | ||
检测气体 | 氢气和氦气 | ||
对氦气 4He 的最小检测漏率 | 真空模式: 1X10-12 mbar l/s, 正压模式: 5X10-9 mbar l/s | ||
检测模式 | 真空模式 (负压) 正压模式 (正压) | ||
检测气体 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
无校准启动时间 | 约 3 min | ||
响应时间 | <1 s | ||
Interface 接口 | RS-232, 基本I/O, 现场总线选项和 USB | ||
对氦气的抽气速度 | 2.5 l/s | ||
进气口压力 | 25 mbar | 5 mbar | |
前级泵抽速 | 油泵 15 m3/h | 隔膜泵 3.4 m3/h | 不含前级泵 |
工作温度 | 0-45°C (真空模式) | 0-35 °C | 0-40 °C |
电压 | 100-110 V AC, 50/60 Hz | 100-240 V AC, 50/60 Hz | 100-240 V AC, 50/60 Hz |
功耗 | 850 W | 600 W | 350 W |
重量 | 56 kg | 45 kg | 32 kg |
尺寸 | 547x350x389 mm | ||
氦质谱检漏仪 ASM 340 与友厂同级别相比, 前级泵抽速和分子泵对氦气的抽速更大, 目前业内公认进气口压力 25 hPa, 尽可能减少检测时间并且 在 100 hPa 即可进行大漏测试的氦质谱检漏仪.
氦质谱检漏仪 ASM 340 可选配件：
图片参考 | 型号 | 描述 | 订货号 |
| 标准吸枪 | 5米软管长度, 刚性9厘米喷嘴 | SNC1E1T1 |
| 智能吸枪 | 5米软管长度,指示灯显示检漏状态 | BG 449 208 -T |
| 遥控器 RC 10 | 有线/无线 | 124193 |
| 进气口防尘过滤器 | 黄铜, 20µm,DN 25 | 105842 |
不锈钢, 15µm,DN 25 | 127014 | ||
| 2轮推车 | 大抽屉设计 | 122570 |
| 4轮推车 | 上部放置 ASM 340 | 805142 (High voltage) |
| 旁路 Bypass | 可以连接辅助泵 | PT 445411 -T |
氦质谱检漏仪 ASM 340 尺寸图：
上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340 客户应用案例:
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结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪的技术优势, 德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪, 从便携式检漏仪到工作台式检漏仪满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >>
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伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
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上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
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氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用
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