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中芯热成精密光刻机
- 品牌：中芯热成
- 型号： ZXRC－PH－01
- 产地：通州区
- 供应商报价： ¥ 60000
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中芯热成科技有限责任公司
更新时间：2022-08-03 09:48:49 -
企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
主要技术指标：
1、曝光类型：单面；配置4"LED用曝光头
2、曝光面积：110×110mm；
3、曝光照度不均匀性：≤±5%；
4、曝光强度：0～30mw/cm2可调；
6、紫外光中心波长：365nm；
7、紫外光源时间：≥2万小时；
8、曝光分辨率：2μm
9、显微镜扫描范围：X： ±100mm Y：±100mm；
10、对准范围：X、Y 调节 ±4mm；Q向调节±3°；
11、套刻精度：2μm；
12、曝光方式：接触式曝光
13、掩模版尺寸：≤127×127mm；
14、基片尺寸：≤Φ102mm(或者102×102mm)；
15、曝光定时：0～999.9秒可调；
- 产品优势
- 本设备是我公司专门针对各大、专院校及科研单位研发使用的一种精密光刻机，主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。
