Nanoscribe Photonic Professional GT2双光子无掩模光刻系统
Nanoscribe 多级衍射光学元件
Nanoscribe 创新折射微纳光学
Nanoscribe 微机械和MEMS
Nanoscribe 具备3D设计自由度的高级微纳光学
作为同类中超前的3D打印系统Quantum X shape 可打印任何形状,min尺寸可达100nm同时表面粗造度(Ra)小于5nm,max面积可达25 cm
具备自动滴胶模组功能的先进打印系统,过夜效率可达200个特征结构。
通用高性能双光子聚合材料,适用高分子及玻璃打印。
Reshaping precision.
作为已被工业界认可的Nanoscribe公司推出的Quantum X平台的二代加工系统,Quantum X shape双光子无掩膜光刻系统在3D微纳加工领域拥有惊人的高精度,比肩于Nanoscribe公司在表面结构应用上突破性的双光子灰度光刻(2GL ®)。全新的Quantum X shape的高精度有赖于其高能力的体素调制比和超精细处理网格,从而实现亚体素的尺寸控制。此外,受益于双光子灰度光刻对体素的微调,该系统在表面微结构的制作上可达到超光滑,同时保持高精度的形状控制。
Reshaping output.
Quantum X shape双光子无掩膜光刻系统不仅是应用于生物医学、微光学、MEMS、微流道、表面工程学及其他很多领域中器件的快速原型制作的理想工具,同时也成为基于晶圆的小结构单元的批量生产的简易工具。
Reshaping usability.
通过系统集成触控屏控制打印文件来大大提高实用性。通过系统自带的nanoConnectX软件来进行打印文件的远程监控及多用户的使用配置,实现推动工业标准化及基于晶圆批量效率生产。
主要特征:
* 纳米尺度打印:在任意空间方向上的特征尺度控制,可达100nm
* 超快体素控制和100nm处理网格的高速3D微纳加工
* 先进的振镜轨道控制保证的最快扫描速度下的轨迹准确度
* 自动化自校准路径保证的高精度激光能量控制及定位
* 可达6英寸基片和硅片的广泛选择
* 工业化批量生产: 200个标准介观尺度结构通宵产量
* 保证实用性和体验感的触控屏和远程控制功能
* 快速原型制作,高精度,高设计自由度,简易明了的工作流程
* 工业验证的晶圆级批量生产
* 通用及专用的打印材料
* 兼容自主及第三方打印材料

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步进式光刻 更高的精度 激光主动对焦 6 英寸加工幅面 特征尺寸0.4 μm
本设备是我公司专门针对各大、专院校及科研单位研发使用的一种精密光刻机,主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。
采用AOD激光操控技术,光斑定位精度优于1nm,高精度套刻对准,结构边缘超平滑,可轻松构建1微米以下线宽结构。 先进的AOD激光操控技术,使得DaLI具有超高的激光定位精度(优于1nm),超长的有效寿命,以及极高的稳定性。DaLI主要适用于广泛应用于MEMS、材料科学、微流控、微光学器件及其它微纳加工领域。
主要优势 ► 小巧桌上型系统 ► 掩膜板制作及激光直写 ► 375nm 或405nm 激光源 ► 兼容所有光刻胶 ► 高深宽比: 1 x 20
创新采用三柔性支点实现高精度自动调平;真空接触自动曝光;样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制;采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明;可连续设定分离间隙;采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。