SUSS苏斯光刻机用曝光灯

SUSS苏斯光刻机用曝光灯HBO 200W/DC ,HBO 350W/S, HBO 1000W/D, HBO 5000W/S

详细介绍

SUSS Micro Tecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯

灯管型号     寿命（H）    适用SUSS苏期光刻机型

HBO 200W/DC    1000H       MJB3, MJB4

HBO 350W/S     600H       MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D    1000H      MA150,MA200,MA4,MA6, MA8

HBO 5000W/S    1000H      MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯光刻机型：

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