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SUSS光刻机用曝光灯HBO系列
- 品牌:德国SUSS MicroTec
- 型号: HBO 200W/DC,HBO 350W/S
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-04-24 09:08:30
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
- 同类产品德SUSS光刻机用曝光灯(2件)
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- 详细介绍
SUSS,EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列
详细介绍
SUSS苏斯,EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯
灯管型号 寿命(H) 适用SUSS苏斯光刻机型
HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4
HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA/BA6,MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA/BA6,MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯,EVG, OAI等光刻机:
- 产品优势
- SUSS苏斯,EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。