红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机

VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂膜机、匀胶机、显影机、甩胶机、旋涂仪、spin coater主要用于半导体工艺、制版工艺过程中图形的显影及表面涂覆工艺，是一款上盖可以加热的匀胶机、显影机，在匀胶或显影过程结束后使用加热功能使胶体薄膜中的溶剂继续蒸发到含量ZD。工作过程中显影液或胶体以雾状喷到样片上，使溶液在样片表面均匀分布，有利于薄膜和显影过程的顺利进行。本机电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源进行控制，电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制，转数在100-2000RPM范围内可调。涂膜机在工作时设有两个阶段，在启动前根据实际需要进行设置。VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机、甩胶机、旋涂仪、显影机、spin coater启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。对于样件的固定，采用橡胶吸盘和磁力钢片模板，不仅样件取放自如，而且操作简便。此外，在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音。1、采用橡胶吸盘和磁力钢片模板固定样件，不仅样件取放自如，而且操作简便；橡胶吸盘和磁力钢片模板大小可根据需要进行定制。
2、该机上盖具有红外加热功能，可以使温度保持在一个稳定值。
3、本机上盖具有4组喷嘴，可使胶体以雾状喷在样片表面，使薄膜更均匀。
4、电机部分、温度控制部分、注液部分分别使用独立电源的方式，电机调速系统则采用了抗干扰性高的PLC进行控制，数值显示更直观可靠，转数在100-2000RPM内可调。
5、涂膜机在工作时设有两个阶段，在启动前根据实际需要，可分别进行时间1、转速1、时间2、转速2的设置。设置完成启动后，涂膜机先以转速1在时间1时间内运转，使涂膜物质逐渐分散开。当时间1时间结束时，涂膜机自动进入时间2时间阶段运转，使涂膜物质更加均匀。
6、喷雾旋转涂覆机启动快速、转数稳定，可以保证膜层厚度的均匀性与一致性。
7、在安装结构上，采取了减震措施，降低运转时的噪音。
8、腔体采用聚丙烯材质，使用寿命更长，提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能；机身采用铸铝结构，结实耐用且质轻。

产品名称	VTC-200-4P红外加热喷雾旋转涂覆机、匀胶机
产品型号	VTC-200-4P
安装条件	本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：设备配有进出水口 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：不需要 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要
主要参数	1、电源：AC220/110V、50/60Hz 2、电机功率：功率210W 3、双转速涂膜功能: 双转速及涂膜时间分别设置，在启动后先低速运转(滴涂胶液)，然后自动转换到高速运转(匀胶)。转速稳定（±1%），涂膜物质均匀。 转数1：100-2000 RPM有效 时间1：1--200s有效 转数2：100-2000 RPM有效 时间2：1--200s有效 4、适用于Φ153mm样件涂膜。 5、上盖加热温度范围：0-100℃。 6、环境温度5-40℃，相对湿度不大于85%RH,设备周围无强烈震源和腐蚀气体影响。
产品规格	主机外形尺寸500mm（长）×410mm（宽）×330mm（高）， 重量24Kg。

序号	名称	功能类别	图片链接
1	橡胶吸盘	（可选）
2	磁力钢片模板（可定制）	（可选）