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郑科探小型高温蒸镀仪镀膜仪

企业性质生产商

入驻年限第2年

营业执照已审核

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详细介绍

小型高温蒸镀仪，钨舟加热，或者坩埚加热，温度可达1800度，带样品台旋转功能，使镀膜更加均匀，

软件自动操控、高性价比，非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

★ 专业真空蒸发电源，数显工作电流和电压，恒流输出；

★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；

★ 衬底可选择加热或水冷，源基距≥300mm；

★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀

★ 可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；

不同真空度不同镀膜时间镀铜样品图

原样品没有镀膜 115安 100秒机械泵

115安 100秒分子泵抽12分钟 115安 120秒分子泵抽20分钟

真空度越高越不易氧化越接近金属本色

小型高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
加热方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
最1大功率	≤1200W
最1大输出电压电流	电压≤12V 电流≤120A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤10^-3Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （最1大可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品蒸发源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1800℃
支持蒸发坩埚类型	钨丝蓝带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳
预留真空接口	KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）

产品优势

小型高温蒸镀仪，钨舟加热，或者坩埚加热，温度可达1800度，带样品台旋转功能，使镀膜更加均匀。

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