小型高温蒸镀仪,钨舟加热,或者坩埚加热,温度可达1800度,带样品台旋转功能,使镀膜更加均匀,
软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。
★ 专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;
★ 可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;
★ 衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm;
★ 可调速旋转靶台使薄膜更均匀
★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜
115安 100秒 机械泵
115安 100秒 分子泵抽12分钟
115安 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
小型高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
最1大功率 | ≤1200W |
最1大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 (最1大可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
可选配扩展 | 机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa) |
报价:面议
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钙钛矿蒸镀薄膜检测设备,触摸屏控制,可调节功率和蒸镀时间,配有样品挡板能精确控制镀膜时间,保护样品
高真空150分子泵组合,有分子泵接口和机械泵家口,一台泵组两用,空载极限压强为1X10-4Pa
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中频电源表面清洗离子清洗机,在真空腔体里,通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体,通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。
气体温度控制仪的气体从腔体底部向上经分布器以气泡形式通过液层,气相中的反应物溶入液相并进行反应,气泡的搅拌作用可使液相充分混合。鼓泡塔结构简单,没有运动部件,适用于气体加湿,气液反应。
气体温度控制仪的气体从腔体底部向上经分布器以气泡形式通过液层,气相中的反应物溶入液相并进行反应,气泡的搅拌作用可使液相充分混合。鼓泡塔结构简单,没有运动部件,适用于气体加湿,气液反应。
气体温度控制仪的气体从腔体底部向上经分布器以气泡形式通过液层,气相中的反应物溶入液相并进行反应,气泡的搅拌作用可使液相充分混合。鼓泡塔结构简单,没有运动部件,适用于气体加湿,气液反应。
温控真空加热腔机械加工,304不锈钢腔体,搭配温控器,有进出气接口和压力检测接口,上面配有石英观察窗