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郑科探实验室大功率桌面磁控溅射仪
- 品牌：郑州科探
- 型号： KT-Z1650PVD
- 产地：郑州
- 供应商报价： 面议
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郑州科探仪器设备有限公司
更新时间：2024-01-12 16:51:38 -
企业性质生产商
入驻年限第2年
营业执照已审核
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- 详细介绍
大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，最1大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。
主要特点：
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
大功率桌面溅射仪技术参数；
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
- 产品优势
- 大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，最大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行。
- 产品文章
| 样品室尺寸: | φ160mm x 170mm | 靶材料: | Au、Pd、Pt、Au、Pd |
| 靶尺寸: | 50mm | 溅射面积: | φ50基底 |
| 真空度: | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
