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小型溅射仪
- 品牌:郑州科探
- 型号: KT-Z1650PVD
- 产地:郑州
- 供应商报价: 面议
- 郑州科探仪器设备有限公司 更新时间:2024-01-12 16:51:38
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企业性质生产商
入驻年限第2年
营业执照已审核
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- 详细介绍
一、公司背景介绍:
(1)郑州科探仪器设备是高质量定制物理气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
(2)郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。
二、仪器描述:小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
三、产品特点:
彩色触摸屏:数据输入简单快速。
通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。
可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构。
可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射。
样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。
标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。
四、小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数:
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流溅射电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1000W
输出电压电流
电压≤1000V 电流≤1A
真空
机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台
可旋转φ62 (可安装φ50基底)
样品台转速
8转/分钟
样品溅射源调节距离
40-105mm
真空测量
皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)
预留真空接口
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
- 产品优势
- 小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
- 产品文章
样品室尺寸: | φ160x160mm | 靶材料: | Au、Pd、Pt、Au、Pd |
靶尺寸: | 50mm | 溅射面积: | 50mm |
真空度: | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa |