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二手 Hitachi SU8020 冷场发射扫描电子显微镜 SEM
- 品牌:日立
- 型号: SU8020
- 产地:日本
- 供应商报价: ¥ 2200000 (市场参考价:¥ 6000000)
- 上海爱仪通网络科技有限公司 更新时间:2024-04-26 16:12:54
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- 详细介绍
日立2011年新推出了SU8000系列高分辨场发射扫描电镜,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器,还可以实现明场像和暗场像的观测;此外在半导体应用中,还可以安装EBIC探测器,采集感生电流图像,极大丰富了信号的采集,对样品的信息的收集达到了新的高度。
特点:
1. 优秀的低加速电压成像能力,1kv分辨率可达1.3nm
2. 日立的ExB设计,不需喷镀,可以直接观测不导电样品
3. 配置Lower、Upper和Top三个Everhart-Thornley型探测器
4. Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像
5. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能
6. 标配有冷指、电子枪内置加热器,物镜光阑具有自清洁功能
7. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成项目 SU8020 SU8030 SU8040 二次电子分辨率 1.0nm (加速电压15kV、WD=4mm) 1.3nm (加速电压1kV、WD=1.5mm) 加速电压 0.1~30kV 观测倍率 20~8000,000(底片输出) 60~2,000,000(显示器输出) 样品台 马达驱动 5轴 REGULUS样品台 行程 X 0~50mm 0~110mm Y 0~50mm 0~110mm 0~80mm Z 360° T -5~70° R 1.5~30mm 1.5~40mm 最大装载尺寸 100mm(最大) 150mm(最大) 150mm(最大) 150mm(选配) 200mm(选配) 探头 标配 Lower 高立体感图像 Upper 高分辨SE、LA-BSE图像 Top SE的电位衬度像、HA-BSE图像
选配STEM 明场像、暗场像 YAG 探头 BSE图像 半导体探头 BSE图像 EBIC 电子束感生电流图像 EDS 元素分析 反污染措施 冷指 标配 物镜光阑 内置自清洁功能 电子枪 内置加热器 真空系统 离子泵 3台 分子泵 1台 机械泵 1台