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PR-23-MS 半导体工业折射仪
- 品牌:芬兰维萨拉
- 型号: PR-23-MS
- 产地:芬兰
- 供应商报价: 面议
- 北京多晶电子科技有限公司 更新时间:2024-04-26 09:04:45
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企业性质授权代理商
入驻年限第4年
营业执照已审核
- 同类产品芬兰维萨拉VAISALA(105件)
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- 详细介绍
PR-23-MS折光仪适用于半导体液态化学品测量。该折光仪利用光学原理测量溶液的折射率来确定固溶物浓度,因此,可用于测量多种溶液。紧凑型设计方便集成到湿法工作台或机柜里,而无需占用过多空间。内置的流通池由超纯的改性 PTFE 制成,旨在防止金属和易腐蚀部件与工艺液体接触。所有接液部件均由超纯的改性 PTFE 制成。棱镜材料是蓝宝石。PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号,并在化学品的浓度不符合规格要求时向控制系统实时反馈。PR-23-MS 外形小巧,易于安装,适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、补液监测应用。
应用:
- Ø 防止错误的化学品进入制造流程。
- Ø 优化蚀刻工艺并延长蚀刻液(例如加热的 KOH)的使用时间。
- Ø 通常可使晶圆的产量提高 5%,并减少 FEOL 和 BEOL 清洗工艺中清洗化学品的消耗(例如 SC-1 或 EKC-265)。
- Ø 对 CMP 浆料进行严格控制,并提高抛光的均匀性。
关键特性:
- Ø 标称准确度为 0.1%(质量百分比),例如,盐酸溶液。对于由多种成分构成的溶液,测量信号则作为各成分的校验和。
- Ø 光学核心构造光学器件。
- Ø 双连接:一个变送器可以运行两个传感器。第二个传感器可在之后轻松添加。
- Ø 过程温度范围:-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
- Ø 内置 Pt1000,快速温度测量及自动温度补偿功。
- Ø ATEX 防爆认证,Zone 2,EX II 3 G EEx nA II T4。
- Ø FM 防爆认证,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.
- Ø CSA 防爆认证,Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.
- Ø cCSAus 电气安全认证,传感器:I 类,污染等级为3 级;变送器:I 类,污染等级为2 级;安装类别为II。
主要优点:
全数字化设备:维萨拉 K‑PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于监控工艺流程,可提供连续的以太网输出信号。设计紧凑,直接串接在过程管路上。
满量程下保持准确稳定测量:折射率测量范围为 nD 1.3200–1.5300,相当于 0-100%(重量百分比)。对于高浓度 HF,可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002,通常相当于 0.1%(重量百分比),例如:盐酸、测量颗粒、气泡、紊流及 PPM 浓度级别的微量杂质影响。
易于维护:光学核心设计;无漂移;无需重新校准;无需进行机械调节。
- 产品优势
- 该折光仪利用光学原理测量溶液的折射率来确定固溶物浓度,因此,可用于测量多种溶液。紧凑型设计方便集成到湿法工作台或机柜里,而无需占用过多空间。内置的流通池由超纯的改性 PTFE 制成,旨在防止金属和易腐
- PR-23-A 卫生折射仪
- PR53AC Vaisala Polaris™卫生紧凑型过程折射仪
- PR-33-S 半导体折射仪
- 全套备件工具包,适用于配备 s 透镜和使用 Inland 45 泵油的 Edwards E2M18 前级泵的
- 用于 s 透镜的 Omega 透镜,适用于 Agilent 7700s 和 8800 半导体 ICP-MS
- 氩气管线工具包,适用于带半导体选件的 Agilent 7700s、8800 和 7900 ICP-MS
- 铂 (Pt) 截取锥(Ni 基座),与 s 透镜配套使用,可选,适用于 Agilent 7700s 和 88
- 用于s 透镜的Omega 透镜,适用于7700s和8800半导体ICP-MS
- 补偿截取锥组件,适用于 7700s 和 8800 半导体 ICP-MS
- 全套备件工具包,7700s和 8800 半导体 ICP-MS
- 用于s透镜的螺钉和垫片工具包,用于7700s和8000半导体ICPMS
- 上海一恒真空干燥箱-电子半导体元件专用BPZ-6123