KLA高精度台式纳米压痕仪iNano

高精度台式纳米压痕仪主要功能：

静态/动态纳米压痕：杨氏模量/硬度

连续刚度：高准度薄膜测试，杨氏模量/硬度，<100nm

DMA功能：橡胶等粘弹性材料存储模量/损耗系数

划痕测试

高温纳米压痕300℃

断裂韧性测试

横向加载，泊松比测试

3D/4D 杨氏模量/硬度mapping

•考虑到灵活性，iNano允许进行广泛的测试，包括但不限于频率特定实验，存储和损耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定应变率。

•电磁执行器用于Nanomechanics生产的所有系统，包括iNano。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。

•iNano是时间常数为20微秒的商用纳米压痕仪，可同时满足大压痕行程50μm，噪声<0.1 nm，数字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的规格要求。

•为确保业内广泛，可靠的数据，iNano能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。

•样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。

•载荷框架刚度> 1,000,000 N / m

•Jian端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的Jian端校准。

•可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准

•可用划痕选项，大正常载荷为50 mN，大划痕距离为2.5 mm，大划痕速度为500μm/ s。

•可用的远程视频选件在iNano腔内提供两个不同的视角，除标准显微镜物镜外还配有USB摄像头。

使用可选的NanoBlitz拓扑和断层扫描软件对材料进行3D和4D映射。

iNano系统由具有电容传感器的电磁传感器提供动力，可对各种材料进行精确测量。该系统旨在提供高吞吐量和轻松的数据分析。iNano带有多种标准测试协议，用户可以轻松对其进行编程以进行新颖的测量。iNano设计产生的校准多年稳定，因此来自多个站点的多个仪器的测量数据保持一致。该系统占地面积小，可节省实验室空间，并符合ISO 14577以确保数据完整性。

除了能够在大学，实验室和研究所进行先进的研究外，还可以对以下材料和行业进行纳米压痕测量：

 制造质量控制

 半导体晶圆和封装

 聚合物和塑料

 MEMS /纳米级设备

 陶瓷和玻璃

 金属和合金

 医药品

 涂料和油漆

 电池和能量存储

聚合物动态弹性性能的测试

描述像聚合物这样的粘弹性材料是阻尼和振动控制应用的关键。 纳米力学公司的核心技术可以将聚合物的动态量表征为应用频率的函数。此外，该测试可以在生产的零件上完成，并且不需要传统DMA测试设备的大体积和特定几何状。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性材料的压痕断裂韧性

脆性材料中抗裂纹扩展性的机械性能称为“断裂韧性”。 传统上，由于样品制备测量该性质可能是耗时且昂贵的。使用立方角压头几何形状的压痕测试，通过提供快速结果和大数据集来增强统计数据，从而有助于测量裂缝。 此外，压痕可以提供关于裂纹初始载荷的信息，可用于比较不同的材料加工条件。 该技术也可以应用于硬涂层，因其没有标准的断裂韧性几何形状。

高温测试压头的Jian端材料
Nanomechanics在钼支架上提供单晶碳化钨Jian端，用于高温测试应用。 这些Jian端的额定温度超过1000°C，可提供各种Jian端几何形状。这些Jian端还具有高导电性，因此适用于原位和环境实验。

聚合物的应变率灵敏度
聚合物的弹性形变通常表现出时间依赖性。此外，聚合物通常具有随时间变化的塑性变形，即蠕变。 纳米力学公司的仪器*通过应用应变率和测量施加的压力来表征聚合物和其他材料的蠕变。 这些测试的信息对塑料加工中的成形性和挤出过程非常有用。

连续刚度测量(CSM)

▪ 在压痕周期内测量刚度和其他材料性能CSM选项包括在压入过程中使探头振荡，测量结果表征为深度，力，时间或频率的函数。该选件随附一个恒定应变率实验，该实验测量硬度和模量随深度或载荷的变化，这是整个学术界和工业界常用的测试方法。

NanoBlitz 3D快速机械性能映射

▪ 快速定量地绘制表面机械性能

▪ 由于增加了观察数，因此提供了具有统计意义的结果

▪ 测量粗糙表面和/或异质材料

NanoBlitz 3D选件根据x-y位置测量弹性模量和硬度，在短时间内生成数千个数据点。定量数据与强大的可视化技术相结合，以评估微观结构和机械性能梯度的差异。

国际标准化的纳米压痕测试 iNano高精度台式纳米压痕仪符合国际认可的纳米压痕机械测试ISO 14577标准。

ISO 14577标准化硬度和弹性模量测试

来自Nanomechanics的iNano和iMicro纳米压痕仪符合ISO 14577标准化硬度测试。  作为参考，一些测量的压痕弹性模量对照图中右侧弹性模量的传统测量值绘制，适用于从聚合物到金属到刚性陶瓷的各种材料。

生物相容性材料的复合剪切模量

本应用说明演示了iNano纳米压痕仪如何用于测试生物材料，并解释了此类测试所需的特硬件，程序和分析。 可食用明胶用于该演示，因为它具有与组织相当的性质，可容易获取并且制备方法是可控和可重复的。

循环压痕测试

除了作为深度函数的属性的动态测量之外，Nanomechanics还提供执行循环压痕测试的能力。 我们的优势是速度，精度和准确性。 图中所示的每个加载 - 卸载循环在4秒内完成，从而有效地测量弹性模量和硬度。

微球的纳米力学测试：颗粒压碎应用

微球在现代生活中有着无数的用途。 中空微球用于降低制造材料的密度。 在现代液相色谱中，分析物被迫通过填充有玻璃微球的柱，从而使分析物的组分基于它们可以通过柱的速度而分离。 在电子封装中，金属化聚合物微球被包装在一起以形成灵活，可靠的连接。 在这项工作中测试的玻璃微球被掺入油漆中以增强外观和耐擦伤性。 在所有这些应用中，了解微球的机械性质是设计的关键方面。 通过硬件和测程序的相对较小的变化，InForce 50成为一般的小型压缩测试系统。

薄膜：基板立弹性模量测量

了解薄膜的机械性能对于设计可靠的部件非常重要。 无论您是在硬质基材上使用软膜，还是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都拥有使用压痕测试，表征基材立弹性模量的测试方法。 此外，我们通过提供低于20nm厚度的数据在某些情况下小于10nm，推动薄膜测试的极限。

薄膜：基板立弹性模量测量

了解薄膜的机械性能对于设计可靠的部件非常重要。 无论您是在硬质基材上使用软膜，还是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都拥有使用压痕测试，表征基材立弹性模量的测试方法。 此外，我们通过提供低于20nm厚度的数据在某些情况下小于10nm，推动薄膜测试的极限。

AccuFilm™薄膜方案

▪ 通过校正基材对测量的影响，可以表征超薄膜AccuFilm薄膜方法选件是一种测试方法包，带有专用压头，用于使用CS模块测量与基材无关的材料特性。AccuFilm使用Hay-Crawford模型校正基材的影响，以测量软基材上的硬膜或硬基材上的软膜。

划痕和磨损测试方法

▪ 当压头在样品表面上移动时，向压头施加恒定或倾斜的载荷涂层和薄膜要经历许多挑战薄膜强度及其与基材粘合性的过程，例如化学机械抛光（CMP）和引线键合。划痕测试允许表征多种材料，例如薄膜，脆性陶瓷和聚合物。

ProbeDMA™局部动态力学分析

▪ 对具有不适合标准DMA测试的样品几何形状和/或材料体积的软聚合物和其他材料进行动态机械分析（DMA）ProbeDMA选件通过测量存储模量，损耗模量和损耗因子随频率的变化，将纳米压头转变为局部动态力学分析仪器。ProbeDMA利用CSM模块和iNano执行器的精度来提供与传统DMA测试相匹配的定量结果。它与300°C的样品加热选项*兼容，如下所述：

300°C 样品加热300°C样品加热选件允许将样品放置在室内进行均匀加热，同时进行测试。

更好的理解水平

iNano提供的总的客户体验不只是规格列表。 对于易于使用的软件和可靠的硬件，以提供行业头部的客户服务和正常运行时间，iNano提供了强大，直接，无忧的解决方案