表界面物性测试

iMicro纳米压痕仪作为KLA旗下旗舰级力学测试平台，融合电磁驱动技术、模块化功能扩展与工业级高通量测试能力，为材料研发与质量控制提供从纳米到微米尺度的全维度力学表征方案。

在尖端材料研发与工业质量控制领域，纳米尺度的力学性能直接决定了产品寿命与可靠性。KLA G200X纳米压痕仪凭借全电磁力驱动、100kHz超高速采集及模块化多场景适配能力，已成为全球实验室与高端制造的“性能解码器”。

KLA iMicro 纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。可互换的驱动器能够提供大的动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出详尽及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。

KLA iNano 纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料可重复测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。KLA iNano 纳米压痕仪提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、

KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iNano台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及良好的灵敏度的三片式电容传感器的设计。

透射电镜多尺度、多视角（明、暗场像，电子衍射， 化学成分）的实验分析能力，基于透射电子显微镜的原位微纳米力学实验仪器。

为了满足现代材料研究的挑战，Swift开发了一系列完全可定制的原位拉伸试样台。这些拉伸试样台适合多种显微观测系统，比如扫描电镜、透射电镜、光学显微镜、共聚焦显微镜等。

NanoFlip产品既可以工作在真空环境下进行各种原位力学测试；也可以直接在大气环境下测试。NanoFlip可进行硬度和杨氏模量测试、连续刚度测试（CSM）、力学性能谱图（Mapping）、纳米动态力