纳米压痕仪/纳米划痕仪

KLA iMicro 纳米压痕仪可轻松测量硬涂层，薄膜和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。可互换的驱动器能够提供大的动态范围的力荷载和位移，使研究人员能够对软聚合物到硬质金属和陶瓷等材料做出详尽及可重复的测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损测试以及高温测试。

KLA iNano 纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料可重复测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。KLA iNano 纳米压痕仪提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、

KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iNano台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及良好的灵敏度的三片式电容传感器的设计。

透射电镜多尺度、多视角（明、暗场像，电子衍射， 化学成分）的实验分析能力，基于透射电子显微镜的原位微纳米力学实验仪器。

为了满足现代材料研究的挑战，Swift开发了一系列完全可定制的原位拉伸试样台。这些拉伸试样台适合多种显微观测系统，比如扫描电镜、透射电镜、光学显微镜、共聚焦显微镜等。

NanoFlip产品既可以工作在真空环境下进行各种原位力学测试；也可以直接在大气环境下测试。NanoFlip可进行硬度和杨氏模量测试、连续刚度测试（CSM）、力学性能谱图（Mapping）、纳米动态力

FT-NMT04纳米机械测试系统是一种多功能的原位扫描电镜/光纤纳米压头，能够准确量化材料在微观和纳米尺度上的力学行为。

InSEM HT（高温）通过在真空环境中单加热尖端和样品来测量高温下的硬度、模量和硬度。INSEM®HT与扫描电子显微镜（SEM）和聚焦离子束（FIB）或立真空室兼容。