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XRD-OEM在线X射线衍射仪

联系方式:蒋健林021-34685181

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XRD-OEM在线X射线衍射仪 核心参数
仪器分类: 单晶
详细介绍

产品介绍:

XRD-OEM的特点

可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)

紧凑、标准的工业接口

单独的定位测量,可测量平面或圆周

光学等级检测

解决了行业难题:

如果加工设备和定向测量是分开的,那么就会因为样品转移而造成定向误差

市场对于精确对齐的晶圆的需求量越来越大

将测量过程整合到工业生产中(研磨或锯切)


XRD-OEM适配普遍的打磨设备

无需移动样本即可进行定向,可与打磨产线相结合直接进行在线检测


应用实例

硅锭取向

磨削前对平面和缺口位置的检测

样品直径可达8 ",长度可达40厘米


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技术参数

可测量材料:硅,碳化硅,砷化镓及更多

样品尺寸:钢锭直径450毫米

冷却:空气,低噪音

可能的用途:在锯/磨/平/缺口检测前对大型晶锭进行预对准



产品优势
可以集成任何自动化或处理系统且适用于极端环境(研磨、锯切)
紧凑、标准的工业接口
单独的定位测量,可测量平面或圆周
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