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晶圆x射线晶体定向仪分拣系统XRD
- 品牌:德国Freiberg
- 型号: XRD
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 束蕴仪器(上海)有限公司 更新时间:2024-04-24 15:59:26
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企业性质生产商
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品X射线晶体定向仪(12件)
联系方式:蒋健林021-34685181
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- 详细介绍
产品介绍:
晶圆XRD的特点:
◇ 完全自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定
◇ 未抛光的晶圆和镜面的距离测量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
独特的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 测量速度: < 5秒/样品
◇ 易于集成到工艺线中
◇ 典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
全自动化的晶圆分拣和处理系统
- 产品优势
- 晶圆x射线晶体定向仪分拣系统用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
仪器分类: | 单晶 |