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晶圆x射线晶体定向仪分拣系统XRD

面议 (具体成交价以合同协议为准)
德国Freiberg XRD 欧洲 德国 2026-04-29 10:33:54
售全国 入驻:9年 等级:认证 营业执照已审核
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产品特点:

晶圆x射线晶体定向仪分拣系统用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。

产品详情:

产品介绍:

晶圆XRD的特点

◇  完全自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。

◇  晶体取向和电阻率测量 

◇  晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定 

◇  未抛光的晶圆和镜面的距离测量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口


20240402-223288264.jpg


独特的Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  测量速度: < 5秒/样品 

◇  易于集成到工艺线中 

◇  典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。

 

20240402-1083216109.jpg

全自动化的晶圆分拣和处理系统



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