TDI系列Herz 气浮式被动隔振台

Herz 气浮式被动隔振台
 

　　稳定、可靠、简单的安装
 

　　高精度系统*的主动式防振系统
 

　　国内、外公营及私营企业、政府单位、大学、研究所、FEI (即前Philips电镜部门)、以及多家精密测量仪器生产商都选择采用
 

　　当中包括FEI、AFM生产商、中国科学院、香港**科技署、香港的多家大学、Heinrich Lab, Department of Biomedical Engineering, UC Davis、California Institute of Technology、Turner Research Group, College of Engineering, University of Wisconsin-Madison、Fertility Associates, New Zealand等
 

　　可以提供样机对SEM/TEM 进行试 用，同时可提供场地测量服务！
 

　　Herz 气浮式被动隔振台  TDI系列
 

　　技术参数：
 

　　减振方式：垂直方向-HERZ减振空气弹簧，水平方向-Herz高性能水平振动隔离系统
 

　　空气弹簧数：4-6
 

　　阻尼方式：垂直方向通过节流孔进行空气阻尼，水平方向采用特殊橡胶的高性能阻尼
 

　　固有频率：垂直方向约1.3Hz/水平方向约0.6Hz(搭载均等大重量时)
 

　　调平方式：带有3个机械式自动调平传感器
 

　　供气方式：需要外部气源
 

　　所需气压：0.3～0.7MPa(3～7kgf/c㎡) ※可选手动供气
 

　　工作台材质：顶板-磁化不锈钢板5t ,底板-热轧低碳钢板 4.5t ※可选消磁不锈钢板
 

　　蜂窝板材质：铝/钢制蜂窝板 ※可选消磁不锈钢蜂窝板
 

　　表面处理：攻丝M-6・25mm矩阵标准加工(可选) 表面未涂漆(※带黑色涂料)
 

　　承重力：150-1,000Kg(取决于具体型号)
 

　　整体重量：140-2,763 Kg(取决于具体型号和面板材质)
 

　　外形尺寸：取决于具体型号(107LA-6015LA)
 

　　减振效果：
 

　　TDI系列可有效降低垂直方向和水平方向上的振动情况。