动画
即时检测
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板(强酸环境中)于减薄制程中的厚度变化
规格式样
| SF-3 | |
|---|---|
| 膜厚测量范围 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
| 膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
| 重复精度 | 0.001% 以下 |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
| 测量光源 | 半导体光源 |
| 测量口径 | Φ27μm※2 |
| WD | 3 mm ~ 200 mm |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 最小Φ6μm
动画
即时检测
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板(强酸环境中)于减薄制程中的厚度变化
| SF-3 | |
|---|---|
| 膜厚测量范围 | 0.1 μm ~ 1600 μm※1 |
| 膜厚精度 | ±0.1% 以下 |
| 重复精度 | 0.001% 以下 |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
| 测量光源 | 半导体光源 |
| 测量口径 | Φ27μm※2 |
| WD | 3 mm ~ 200 mm |
| 测量时间 | 10msec 以下 |
※1 随光谱仪种类不同,厚度测量范围不同
※2 最小Φ6μm
报价:面议
已咨询91次显微缺陷膜厚
报价:¥1000
已咨询1355次薄膜测厚仪
报价:面议
已咨询3364次Filmetrics膜厚测量仪
报价:面议
已咨询3966次Filmetrics膜厚测量仪
报价:面议
已咨询126次显微缺陷膜厚
报价:面议
已咨询485次显微分光膜厚仪
报价:面议
已咨询2702次白光干涉膜厚仪
报价:面议
已咨询1143次太阳能电池检测仪器
Klar Mini Pro显微镜是一款小巧、高性价比的显微光谱和光电流模块。空间分辨率极高,专门为需要对材料的微区研究有着严苛要求的的科研人员设计。 Mini Pro通过将激光聚焦在样品上,然后由光谱仪收集所发出的光(荧光或拉曼),可对生成荧光和拉曼的Mapping图谱。Z方向可实现自动对焦。分析软件能迅速确定每个光谱的峰值能量和强度。获得分辨率和对比度都非常出色的Mapping图像。
光经过显微物镜会聚后,光斑直径往往达到微米级,远小于可调光阑的孔径,此时需要用更小的孔径进行空间滤波,即针孔光阑。微米级的小孔无法做成连续可调式,故针孔光阑的尺寸是固定的。针孔光阑的外径为 8mm, 厚度 0.1mm, 其小孔采用激光掩模技术加工而成,一致性较好。
BBP 系列遮光板用于光学实验中遮挡激光的杂散光,另外也可用于干涉仪或者纹影仪用的屏幕。
磁性底座适用于单独固定在光学平台等磁性材质的台面上。通过手柄的 ON/OFF 切换,可以简单的进行装卸,不受安装螺纹孔的位置限制,可以固定在任意位置。