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德国匀胶机SPIN200i
- 品牌：德国APT Automation
- 型号： SPIN200i-NPP
- 产地：欧洲 德国
- 供应商报价：￥1
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武汉迈可诺科技有限公司
更新时间：2025-05-14 15:37:40 -
销售范围售全国
入驻年限第8年
营业执照已审核
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产品特点
- 匀胶机的特点：
1、该匀胶机采用德国先进技术：
2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。
4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。
5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。
详细介绍
匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍：匀胶机(英文名：Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机1、 匀胶机工作原理：
匀胶机（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
2、匀胶机型号及技术参数如下：
型号
SPIN150i
SPIN200i
POLOS300
POLOS450
基片范围
直径160mm or 4ʺ方片
直径260mm or 6ʺ方片
直径360mm or 8ʺ方片
直径460mm or 350mm方片
程序段数
无限制
无限制
无限制
无限制
操作步数
无限制
无限制
无限制
无限制
旋转速度
0-12,000 rpm ±1rpm steps
0-12,000 rpm ±1rpm steps
0-12,000 rpm ±1rpm steps
0-1500rpm ±1rpm steps
旋转精度
±0.1 rpm
±0.1 rpm
±0.1 rpm
±0.1 rpm
旋转方向
顺时针、逆时针、交换摆
顺时针、逆时针、交换摆
顺时针、逆时针、交换摆
顺时针、逆时针、交换摆
最大加速度
30,000 rpm/sec
30,000 rpm/sec
30,000 rpm/sec
≤1500rpm时取决于负载
旋转时间
无限制*,± 0.1 seconds steps
无限制*,± 0.1 seconds steps
无限制*,± 0.1 seconds steps
无限制*,± 0.1 seconds steps
腔体直径
202 mm
302 mm
402 mm
502 mm
外形尺寸
(w*h*d )
274 x 250 x 451 mm
380 x 307 x 559mm
430 x 310 x 650mm
795 x 638 x 922mm
触屏控制
全彩触屏控制
全彩触屏控制
全彩触屏控制
全彩触屏控制
设备重量
14Kg
20Kg
32Kg
75Kg
电源参数
220V,50/60 Hz
220V,50/60 Hz
220V,50/60 Hz
220V,50/60 Hz
沪公网安备 31011502008050号