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KSI MK52系列光学隔振平台

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详细介绍

KSI MK52系列隔振平台

特点和优势:

l  人体工学设计

l  超低固有频率

l  阻尼振动结构设计

l  可定制配件

l  无需提供气源-易于使用

l  可选桌面

l  适配Class 100 洁净室

l  Class 10可选

                                               

新型MK52系列隔振控制平台,符合人体工学设计标准,适配于超低固有频率模式下的各方面应用。Kinetic Systems, Inc.(简称KSI)通过使用Minus K负刚度隔振ZG技术,能够提供稳固紧凑的被动隔振平台,拥有超低固有频率、更高内结构频率和的垂直和水平隔振效率。升级的MK52系列能够提供更好的客户舒适度,增加额外的腿部空间。

Minus K垂直隔振器使用一个牵引弹簧和负刚度机械结构,能够在不影响静态载荷能力的情况下,达到较低的垂直刚性。

MK52系列是在高性能MK26系列基础上设计实现的,提出双隔振器概念,能够通过一个可扩展的工作平面实现的隔振效率。但调整到 0.5 Hz 固有频率,系统的隔振效率可达93%2 Hz99%5 Hz99.7%10 Hz.

MK52系列隔振平台可以根据不同的应用需要,进行选择性配置,客户也可以根据需要进行定制隔振平台。

MK52系列典型的隔振控制应用

MK52系列能和很多设备仪器搭配使用,且能达到极其的性能表现,如高精分析天平,细胞接种,共聚焦显微镜,膜片箝,光学显微镜,圆晶针测,原子力显微镜等。同时在其他高端研究领域也有很广泛的应用,如半导体过程处理,通信,航空航天和医学研究等。

配置

最大载荷

2000 lbs.906kg

96”2436mm

48”1218mm

垂直固有频率

0.5 Hz

水平固有频率

0.5 Hz

隔振效率 @ 2 Hz 

93%

隔振效率@ 5 Hz

99%

隔振效率 @ 10 Hz

99.7%

 

 

 



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