场发射扫描电子显微镜 SU9000
扫描电子显微镜-量子场发射扫描电子显微镜 SEM4000Pro
GeminiSEM 场发射扫描电子显微镜
Apreo场发射扫描电子显微镜
扫描电子显微镜-量子超高分辨场发射扫描电子显微镜 SEM5000X
新操作导航SEM Center-集成了EDS操作
新开发的操作GUI“SEM Center”将SEM成像观察和EDS分析整合在一起,实现了图像观察和元素分析的无缝数据采集。

◇ 新功能Zeromag
“Zeromag”,结合了从光学图像到SEM成像的无缝转换,很容易定位试样目标微区。

◇ 新功能Live-AI filter(实时图像视觉增强器人工智能过滤器) option
配备人工智能Live-AI filter。与图像集成处理不同,这种新的过滤器可以显示无缝移动的实时图像,没有残留图像。这种独特的特征对于快速搜索观察区域、聚焦和消像散调整非常有效。


◇ In-lens 肖特基-Plus场发射电子枪(FEG)
电子枪和低像差聚光镜的增强集成实现了更高的亮度。能够有效收集电子枪产生的电子,即使低加速电压下也能得到数pA-数十pA的电流,支持高分辨观察、高速元素分析和EBSD分析。

◇ 混合透镜(HL)
混合透镜(HL)是静电和电磁场透镜的组合,支持从磁性材料到绝缘体等各种样品的高空间分辨率成像和分析

◇ Neo Engine
Neo Engine是一种前沿的电子光学控制系统,在自动功能的精度上有了显著的提高,可操作性也更高。即使变更电子光学条件,光轴也不偏差,操作性和观察精度大幅提高。可以说是JEOL电子光学技术的结晶。

◇ ACL
JSM-F100包括一个光阑角孔优化透镜(ACL)。ACLYZ入射电子的扩散,以始终保持最小的探头。这是通过对孔径角度的优化控制来实现的,以适应探头电流的大变化,使扫描电镜的操作包括高分辨率成像和x射线分析顺利进行。

◇ 检测器
4个检测器。标配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可选件RBED、USD

UED and USD

RBED and SED

基本参数
标准 | 低真空 | |
分辨率(1kv) | 1.3 nm | |
分辨率(20kv) | 0.9 nm | |
放大倍率 | ×10 to 1,000,000 (以128 mm × 96 mm的显示尺寸规定放大倍率) | |
加速电压 | 0.01 to 30 kV | |
探针电流 | A few pA to 300 nA (30 kV), a few pA to 100 nA (5 kV) | |
检测器(标准) | UED、SED | |
电子枪 | 浸末式肖特基场发射电子枪 | |
ZJ光阑角控制 | 内置 | |
物镜 | 混合物镜(HL) | |
样品台 | 全对中测角样品台 | |
样品移动 | X: 70 mm, Y: 50 mm, Z: 2 to 41 mm, 倾斜角: − 5 to 70° , 旋转: 360° | |
马达驱动 | 五轴马达驱动 | |
样品交换室 | zui大直径:170mm,zui大高度:45mm(WD 5mm) | |
大景深模式(LDF) | 内置 | |
标准检测器(LV) | — | 低真空二次电子检测器(LVBED) |
分辨率(LV) | — | 1.8nm(30kv) |
压力范围(LV) | — | 10Pa to 300Pa |
压差光阑控制 | — | 自动控制 |
充入气体 | — | 氮 |
真空系统 | SIP × 2、TMP、RP × 1 | SIP × 2、TMP、RP × 2 |
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JSM-IT500HR扫描电子显微镜, 采用新开发的高亮度电子枪和透镜系统,可以更迅速便捷地提供令人惊叹的高分辨率图像、高灵敏度和高空间分辨率;从设定视野到生成报告,利用完全集成的软件大大地提高了作业速度。
JSM-7900F 超高分辨热场发射扫描电镜是JEOL推出的新一代FE-SEM旗舰机型。 它继承了上一代广获好评的极高空间分辨率、高稳定性、多种功能等性能的同时,操作性能极大地简单化。 该设备不依赖操作者的技能,始终能够发挥其极jia的性能。
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JSM-IT500 钨灯丝扫描电子显微镜是JEOL InTouchScope系列推出的新机型。从选定兴趣视野到生成报告,用于分析的软件整合于一体,加快了作业速度!是一款无缝操作,使用方便的扫描电子显微镜。
JSM-IT200钨灯丝扫描电镜是一款操作便捷、使用方便,性价比高的全新数字化钨灯丝扫描电子显微镜,可广泛的应用于各个领域。
JCM-7000是日本电子新推出的一款台式扫描电子显微镜。其不仅继承了日本电子大型电镜强大的功能,相对于大型扫描电镜,其自动化程度高,操作简单便捷,维护保养容易,体积小巧,价格低廉,检测速度快,从启动装填样品到测试出结果仅需5分钟左右。JCM-7000还创新的加入了实时能谱分析和实时3D显示的功能,更高xiao便捷的服务于您的研究和工作。