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桌面型紫外曝光机UV-KUB 2
- 品牌:克劳伊
- 型号: UV-KUB 2
- 产地:欧洲 法国
- 供应商报价:面议
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浙江扬清芯片技术有限公司
更新时间:2020-01-16 20:50:23
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销售范围售全国
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品光刻类(4件)
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产品特点
- UV-KUB 2是一款基于UV-LED技术的小型多功能曝光光刻设备,广泛地应用于高校、研究所以及企业研发机构的MEMS实验室、微流控实验室、光电实验室以及生物技术实验室等,其具有下列特点:
-低成本,结构紧凑,占地面积小;
-LED单色光全幅面曝光,均匀性好,效率高;
-使用UV-LED 冷光源,实时对温度控制减小温差对材料的影响;
-光源寿命超过10000小时;
-开机后无需预热;
-可实现垂直沟槽的制作,发散角< 2°;
-触摸屏操作,简单易行。 详细介绍
UV-KUB 2是一款基于UV-LED技术的小型多功能曝光光刻设备,广泛地应用于高校、研究所以及企业研发机构的MEMS实验室、微流控实验室、光电实验室以及生物技术实验室等。
主要优势
低成本,结构紧凑,占地面积小;
LED单色光全幅面曝光,均匀性好,效率高;
使用UV-LED 冷光源,实时对温度控制减小温差对材料的影响;
光源寿命超过10000小时;
开机后无需预热;
可实现垂直沟槽的制作,发散角< 2°;
触摸屏操作,简单易行。
规格参数 曝光面积 4英寸 分辨率 2um 曝光波长 365 nm / 385 nm / 405nm 全幅面照明能量密度 25 mW / cm² ± 10 % 曝光温度变化 小于1度 曝光时间(连续或非连续) 1秒至18小时定时 外形尺寸 260 x 260 x 260 mm³ 触摸屏尺寸 5.7英寸 整机能耗 180W