高频等离子体(Plasma)
技术特点:
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。
2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验
3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.13.56Mhz射频电源,扫频自动匹配,稳定可靠,具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的jing准控制和监测。
10. 液晶屏+薄膜数字按键控制方式,操作直观简单稳定可靠。
技术规格参数
型号:SAT-5D | 品牌:赛奥特(SAT) |
不锈钢/石英舱体 | Φ150 mm×L255mm 可以选配石英转鼓用来处理微颗粒以及粉末 |
工作气路 | 两路,可以选配MFC控制 |
射频频率 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-150W,可调,扫频自动匹配 |
控制系统 | 液晶屏+薄膜数字按键,实时显示和检测舱内真空度值 |
时间范围 | 0—99分59秒连续可调 |
工作压力 | 样品仓内200Pa以内根据进气量自动调节 |
工作气体 | 空气、氧气、氮氢混合气、氩气、氮气及其他惰性气体与混合气体均可 |
进气压力 | 空气:常压 连接气体钢瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手动模式和程序化自动模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
输入电源 | ~220V/50Hz |
整机尺寸(D*W*H) | 552X590X295mm |
重量(约) | 28Kg |
报价:面议
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