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DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机

  • 品牌:Diener
  • 型号: ATTO
  • 产地:德国
  • 供应商报价: ¥ 100000
  • 标签:
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上海尔迪仪器科技有限公司

主营产品:等离子清洗机\蚀刻机,PECVD,聚对二甲苯涂层,UV固化箱,实验室仪器,真空泵

DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机 核心参数

自动化: 手动 样品腔尺寸: Dia.211x300mm
样品腔容积: 10.5L 射频功率: 200/300W
频率: 40kHz,13.56MHz

详细介绍

10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型,配有 PC 和 PCCE 控制系统,主要用于以下领域:

  • 小批量生产

  • 分析 (REM, TEM)

  • 医疗技术

  • 灭菌

  • 研究和开发部门

  • 考古

  • 纺织技术

  • 塑料技术

等离子设备 Atto,配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻等离子设备 Atto,配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统等离子设备 Atto,配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统,用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统


系列

Atto 手动控制

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

控制系统

手动型、通过模拟计时器测定工艺时间

PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)

PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)

体积

10.5L

真空腔室

玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

样品支架

1个样品支架

气源

2 个由针型阀控制的气体通道

2 个由 MFCs 控制的气体通道

2 个由 MFCs 控制的气体通道

高频电流发生器

40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵

5 m3/h

外尺寸

525 mm、高 275 mm、深 450 mm

电源电压

AC220V




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