108镀膜仪

技术参数：

l自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和**的导电喷镀效果。

l通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

l操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

l在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，

l数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和**的镀膜效果。

l可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。

l样品室大小：直径120mmx120mm高(4.75x4.75")

l样品台：可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm

l溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，最大电流40mA，程序化数字控制

l溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

l模拟计量：真空：Atm-0.001mbar，电流：0-50mA

l控制方法:自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（5－300s），自动放气.整个操作亦可全手动控制。

l真空泵：原装进口，抽气速率:6.0m3/小时，真空度到0.1mb所需时间30秒.

l桌上系统:真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统

l保修期：免费保修一年