Diener PlasmaBeam 等离子表面处理装置
日本Ulvac干法等离子刻蚀装置NE-550Z
PVA TePla - 等离子清洗系统
无锡冠亚单流体温控系统装置
Diener 等离子蚀刻机 FEMTO RIE


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型号 |
PR200 |
PR300 |
PR301 |
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模式 |
DP模式,桶型 |
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控制部 |
高频输出 |
Max300W |
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频率 |
13.56MHz |
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同调方式 |
手动2轴同调方式 |
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反应部 |
反应腔 |
耐热玻璃 Φ100×160mm |
超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室 |
耐热玻璃 Φ118×160mm |
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反应气体 |
1系统(氧气)流量计 |
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控制 |
手动密闭阀 |
自动减压、自动密闭阀 |
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配管材质 |
不锈钢、特氟龙、铜、铜合金 |
不锈钢、特氟龙 |
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外形尺寸 |
W350×D400×H500mm |
W438×D520×H556mm |
W438×D520×H630mm |
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重量 |
约10kg |
约36kg |
约34kg |
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电源 |
AC100V 15A |
AC100V 7A |
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报价:面议
已咨询653次等离子装置
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涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下: • 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。 • 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。 • 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
MLT 4.8T干式压缩前级真空泵特点: •干式压缩,无油并且无烃 •可配用于MLT-PT90涡轮分子泵机组 •极限压强低 •进气口为ISO-KF法兰
MLT C系列油泵按zui高要求制造:MLT C系列是双级油封式旋片真空泵,与众不同的特点是结构轻巧,尤其适用于薄膜镀层、变压器油、环氧树脂等的除气、 空间模拟 、冷冻脱水 、蒸馏 、化学/制药;真空冷冻 、容器或舱室排气 、冶金/熔炉 、真空干燥 、鼓风机用备用泵、半导体生产 。关键部件如:旋片、整套密封件及防返油阀等均有德国进口。
MLT 1.4T和MLT 3.8T与传统膜片泵相比,其三级设计可在较低压强范围内提供较高抽速,同时极限压强低于2毫巴(1.5托),因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。该泵结构紧凑,也适合安装在泵系统内。
MLT干式压缩前级真空泵,有T系列,以及三级设计的MLT 1.4 T和3.8 T。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计,可在较低压强范围内提供更高抽速,因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。
MLT 1.4L是三级隔膜真空泵,它能抗耐化学品并升级了抽气性能。转速在700-1600rpm范围内可调,因此该泵的抽速可方便的适应不同的需求。内置的膜片材料质采用EPDM并有PTFE涂层。阀门采用KALREZ®,从而确保对腐蚀性气体具有优秀抗耐性。由于采用了三级设计,可轻松达到2mbar的压强。
•MLT 隔膜泵的极限压强低,双级8毫巴(6托)和三级2毫巴(1.5托) •接触气体的泵头其所有部件采用耐腐蚀的PTFE(Tefoln.FFPM)和PVDF(Solef)材料制造 •干式压缩、无油 •能抽水蒸气 •采用经过验证的高品质元件,维护成本低,使用寿命长 •维护工作简单,客户可执行 •运行噪音低 •便携、紧凑、尺寸小 •可以任意方位运行 •真空泵提供过热保护 典型应用•可提供四个抽速类别