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等离子灰化机 PR200/300/301

品牌：日本雅马拓
型号： PR200/300/301
产地：日本
供应商报价：面议

江苏米立特科学仪器有限公司更新时间：2021-10-21 08:23:22

企业性质一般经销商

入驻年限第3年

营业执照已审核

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详细介绍

从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机
用途
● 高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影响）。同样在氮气等离子体中，氮原子被吸收在表面中，生成-NH 2等官能基。
● 硅晶圆蚀刻。
● 材料表面改性（金属、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉预处理（膜过滤灰化）。
● 从电子设备到生化市场。
● 低温灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
● 表面有机物去除
特点
● RF为200 W的高性能输出类型（PR200）。
● 由于是尺寸紧凑的台式机，很小的位置都可以安装。
● 同步，自动调谐，操作简单（PR200）。
● 等离子体反应器（灰化设备）（PR200）。
● 同步、自动调谐（PR200）。

反应腔

［例］石棉分析前处理

规格

型号		PR200	PR300	PR301
模式		DP模式，桶型
控制部	高频输出	Max300W
	频率	13.56MHz
	同调方式	手动2轴同调方式
反应部	反应腔	耐热玻璃 Φ100×160mm	超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室	耐热玻璃 Φ118×160mm
	反应气体	1系统（氧气）流量计
	控制	手动密闭阀	自动减压、自动密闭阀
	配管材质	不锈钢、特氟龙、铜、铜合金		不锈钢、特氟龙
外形尺寸		W350×D400×H500mm	W438×D520×H556mm	W438×D520×H630mm
重量		约10kg	约36kg	约34kg
电源		AC100V 15A	AC100V 7A

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