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全自动显微镜 NX-HDM 全自动缺陷检测原子力显微镜

品牌：纳腾
型号： NX-HDM
产地：上海徐汇区
供应商报价：面议

上海纳腾仪器有限公司更新时间：2025-03-17 17:30:12

销售范围售全国

入驻年限第10年

营业执照

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产品特点

对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。

详细介绍

对于工程师来说，识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程，Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别，通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率，越来越多的行业需要超平的介质和基板来满足不断缩小的设备需求，Park NX-HDM原子力显微镜系统具有业界低0.5埃噪音，并将与其真正的非接触式模式相结合实现亚埃级表面粗糙度的测试。

基本技术参数

200 mm电动XY平台	电动Z平台	噪音
行程可达150mm x 150mm, 2 μm重现性 0.095nm分辨率	25 mm Z行程距离 0.1μm 分辨率小于1μm 重现性	小于 0.5 μm/s
尺寸&重量	控制箱	设备需求环境
880（w）x 880（d）x 880（h） 620kg	600（w）x 900（d）x 1330（h） 170kg	室温10 ℃~40 ℃ 操作18 ℃~24 ℃ 湿度 30%~60%

主要功能

1) 快速自动缺陷检测功能

2) 亚埃级表面粗糙度的测量

3) 有小的热漂移，自动分析测量的数据

4) 在线监测测试过程，

应用

自动检测缺陷

相关文献

Foucher; R Therese; Y. Lee; S.-I. Park; S-J. Proc. SPIE 8681,Metrology, Inspection, and Process Control for MicrolithographyXXVII, 868106 (April 18, 2013); doi:10.1117/12.2011463

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