结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量。
主要特点：
可简单预设待测晶片上1到25个测量位置；
8英寸/6英寸晶片真空吸盘；
带有电流开关的杠杆操作探头，可避免产生火花；
定位精度小于±1mm；
幻灯片准确度不高于测量区域；
遮盖待测区域，消除光电干扰；
技术指标：
| 8型号表 | 具有真空卡槽、定心凹槽，镊子切口的硬铝合金 |
| 晶片尺寸 | Φ=5/6/8 |
| 预设测量位置 | 中心点：垂直直径四个点，32，38，50，57，68，94mm 晶片 1/2R 距边缘6mm 5 32mm 57mm 6 38mm 68mm 8 50mm 94mm |
| 6号晶片尺寸 | Φ=3/4/5/6 |
| 预设测量位置 | 中心点；垂直直径四个点，15，20，25，35，50，60mm |
| 可配 | 真空线路、真空泵 |
| 外形尺寸 | 355mm * 215mm * 195mm（H） |
| 净重 | 6：3.5kg 8：4.0kg |
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营业执照未审核
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