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多位晶圆四探针测试仪

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详细介绍

结合jandel公司生产的四探针探头对晶片的电阻率进行测量。

主要特点:

可简单预设待测晶片上1到25个测量位置;

8英寸/6英寸晶片真空吸盘;

带有电流开关的杠杆操作探头,可避免产生火花;

定位精度小于±1mm;

幻灯片准确度不高于测量区域;

遮盖待测区域,消除光电干扰;


技术指标:

8型号表具有真空卡槽、定心凹槽,镊子切口的硬铝合金
晶片尺寸Φ=5/6/8
预设测量位置

中心点:垂直直径四个点,32,38,50,57,68,94mm

晶片 1/2R 距边缘6mm

5 32mm 57mm

6 38mm 68mm

8 50mm 94mm

6号晶片尺寸Φ=3/4/5/6
预设测量位置中心点;垂直直径四个点,15,20,25,35,50,60mm
可配真空线路、真空泵
外形尺寸355mm * 215mm * 195mm(H)
净重

6:3.5kg

8:4.0kg



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