日本雅马拓 等离子试纸

■概要
○可随低温等离子强弱而引起颜色变化的试纸
○等离子功率强，处理时间长时，试纸色调变化速度会提高。
※色调变化原因为等离子进行有机反应或蚀刻时，会与试纸产生相互作用。
■特征
○等离子处理效果，可通过目测试纸颜色的变化而判定
○可通过观察试纸的变化来判断等离子 处理强度的平面空间分布
○氧气，氩气等适合半导体行业处理方式也有着广泛的应用


左上图  PLAZMARK O2
O2以外，N2，Air，CF4，H2，NH3等气体也适用。
上中图  PLAZMARK Ar洗净用
诸如Ar等离子这类较难感知的阳性等离子，该试纸同样适用。
右上图  PLAZMARK大气压等离子用
打印机配线板制造/FPD制造/膜加工等大气压等离子设备处理效果同样可以用该试纸测试。
左下图  PLAZMARK有机膜去除用
最适合打印设备 配线基板制造时，等离子清除有机膜后，进行验证用。O2+CF4混合气体也适用。
下中图  PLAZMARK耐热性
采用无机材料色材，耐热性能好（贴纸型号200℃耐热）。
右下图 PLAZMARK硅晶圆行业
采用无机色彩，可以确保晶圆洁净。超低气体排放。可耐热400℃。