NanoSystem NVM-6000P非接触式3D表面自动测量系统

白光干涉仪(WSI)能测量柔软、正常粗糙表面的表面高度，
与NA无关，提供0.5纳米垂直分辨率。不损伤垂直分辨率，可使用所有倍率。

相位差干涉仪(PSI)提供0.1纳米的垂直分辨率。
因此，使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并获得较大的FOV。

产品描述

NanoSystem NVM-6000P是专用型设备，用于基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole，Pad形状，pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性，支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

产品规格

扫描范围：0-180um（270um可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm 

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）

工作台面：510X405mm（程控）

尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)

应用领域

Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面）等等领域提供纳米级别精度的量测。包括：PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 · 4287 国际规格标准化数据

按照ISO国际标准机构规定的规格，以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images

Nano System利用从ISO、ASME、EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。