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分不清ito靶材和ito薄膜?磁控溅射是生产哪个? ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过
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作PVD制程所用到靶材需要检验哪些项目,怎么检验?还有钛靶、铬靶、石墨靶及不锈刚靶的密度各是什么 1.靶