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磁控溅射

xlqipntg    2009-06-07    靶材    浏览 579 次

我想请教一有点弱的问题 磁控溅射的基体可以是绝缘体吗?尤其是非平衡磁控溅射 还有靶材可以使粉末状的吗 希望高人们可以帮忙解答一下

精彩问答
Q773975494 发布日期:2009-06-08
磁控溅射的基体可以是绝缘体.比如塑胶上直接镀EMI膜就常用于手机、兰牙、摄像头等产品。
靶材可以是粉末冶金制作的。但是,也还是整体的,不会是粉末状的。
蒸发镀膜可以用粉末状的材料做蒸发材料,但不能叫靶材。
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