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真空磁控溅射镀膜工艺如何选用靶材与气体?

涛语无声    2011-04-22    靶材    浏览 622 次

请教专业人士
磁控溅射镀膜工艺,我想要调的工艺颜色该如何选用靶材与气体
我对LOW-E低辐射玻璃镀膜比较熟悉
请问有没有如何选用靶材与气体这方面的书籍,我想在网上购买这类书籍,有谁知道在那里有,封面书名叫什么

精彩问答
微商导师老友23 发布日期:2011-04-25
你在哪里?我可以帮你调。把工艺给你。
全部评论
我爱吃西红柿9 发布日期:2011-04-27
调颜色是靠积累下来的规律,那得看你要什么颜色 ?一般钛靶调的颜色值比较广,你可以看一下《镀膜玻璃ZL技术》但不是很全
果色半夏 发布日期:2011-04-23
镍靶的话,一般都是用氩气吧。颜色靠你控制镀膜速率跟充气量来决定的。不过镀玻璃膜的话好像不是用磁控溅射的吧,需要半透效果?如果是光学镀膜的话,那就要根据光波来决定了,不同的波段所呈现出来的颜色是不一样的,这个需要用专业的软件来控制TIO2跟SIO2重叠镀膜,来呈现不同的折射率,得到不同的颜色。
如果你是想买书看的话,是没有多大用处的,这个涉及到了光学之类的,并且都讲的相当深奥,跟生产实际操作是完全两码事,如果你学历够高,或许看看这些书,能在理论上有一定的帮助,不过对你操机来说是没什么用处的……
另外镀膜的颜色的话,融料的时候电子枪要控制的稳……其实只要你自己在实际操作中多注意,多记录还是有一定的规律的,不过机台的稳定性是没法保证的,所以相同的参数,镀出来的颜色也有可能不同,这个就要看你平时对你自己机台的了解了……
二和如何 发布日期:2011-04-26
《薄膜光学》高劲松,
靶材与气体对膜层颜色不是很关键。薄膜光学可能对你有点用。如果找不到我可以传给你
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