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磁控溅射靶材烧了裂一个口

我要投诉佳家玛    2012-04-01    靶材    浏览 679 次

磁控溅射靶材烧了裂一个口,还能用吗?害怕辉光放电会打到下面基座上了,会不会呢?请高手指导一二,感激不尽。

精彩问答
昝忙肌 发布日期:2012-04-06
建议不要使用了,辉光放电倒不会击坏基座,但是它打到基座上的话会轰击出基座上的金属离子,对你镀的膜造成污染。如果不是贵金属的话直接扔掉,如果是贵金属的话重新熔铸吧
全部评论
fang4163 发布日期:2012-04-02
很有可能,建议不要用了。如果射靶某个部位溅射出了一个裂口,而别的地方没事,说明磁控靶磁场分布有问题。
709769323 发布日期:2012-04-03
看你裂口是怎样的了。
我们的有一个靶材就有裂纹,但是拼上去了,拿的时候不会裂开,照样在用,没有太大问题。
不过,如果你的靶材是要击穿了,建议换一个新的。
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