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请问哪个学校有能做氮化铝的磁控溅射设备啊?本人在北京科技大学

zljcindyzhou    2011-11-03    靶材    浏览 610 次

请问哪个学校有能做氮化铝的磁控溅射设备啊?我在北京科技大学,学校里有这个设备但做不了氮化铝膜,所以只能去外面找设备做。还请英雄侠女帮帮忙

精彩问答
3310mj 发布日期:2011-11-04
用AL靶材,在氮气气氛下采用射频磁控溅射就可以做氮化铝啊!详询北京科技大学国重功能材料梯队
全部评论
ac6df4 发布日期:2012-02-24
西南物理研究院应用技术研究所,他们在刺刀上做过氮化铝,可以工业化生产,你可以找找他们!
龙宇x求 发布日期:2011-11-07
为什么非得要学校呢?北京表面处理的企业也很多。我也可以做,我是做太阳能光热的,Z外层是氮化铝或者氧化铝都可以。另外,我所知道的具有磁控溅射设备的Z早的是北大,九几年就有了。沈阳百乐(原真空三厂)做的。如果你需要,把你的材料材质、形状、膜层要求什么的都跟我说说吧。
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