应用织构极图研究ZnO外延膜的晶体取向特征

用MOCVD法在蓝宝石衬底上生长ZnO外延膜用理学D/max 2550转靶衍射仪测量ZnO外延膜织构观察到试样存在两种晶体取向关系：ZnO[11-20]//Al2O3[10-10]及ZnO[10-10]//Al2O3[10-10]计算得到晶格取向极点分布平均半高宽为12.26O，且前一种取向晶体的数量是后者的13倍探讨了两种取向的热力学稳定性给出了外延膜取向特性的逐层分析结果 小分子单晶X射线分析装置 使用影像板IP曝光读数一体式的X射线LAUE照相机 组合式多功能X射线衍射仪Ultima IV系列 智能X射线衍射仪