SPOS 技术在半导体CMP 制程中的应用

胶体混悬液与分散体有着十分广泛应用领域，而决定这些体系质量和稳定性的重要因素就是其内部的粒径分布，因而准确掌握这些体系的粒径分布特征就能确保其在广泛领域的成功应用。相对于一些整体检测技术，如：激光衍射技术与超声衰减技术，单粒子光学传感技术(Single Particle Optical Sensing, SPOS) 在分辨率与精确度方面取得了重大的突破。因此，对多种混悬液和分散体的质量与稳定性的研究，如：浓缩饮料、传递药物与营养用的水包油乳剂，包衣与粘合用的高分子分散体及半导体CMP 制程中使用的slurry 等, SPOS 方法更有价值。