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新型扫描电镜样品制备系统在不同领域的应用

北京欧波同光学技术有限公司更新于：2016-07-26

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它就是GATAN Ilion II 697氩离子束抛光系统，该款设备是在Gatan公司经典的691离子减薄仪技术上发展而来它的问世改变了此前人们用手动或机械研磨的方法对样品进行研磨抛光的局限性利用氩离子精密抛光装置，可以获得平滑的截面和平面，而不会对样品造成机械损害，是扫描电镜样品制备的新型手段，目前已经广泛应用于各大高校科研院所 Gatan 宽束氩离子抛光系统 697 Ilion II Gatan SOLARUS (950)Plasma Cleaning System等离子清洗仪

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