电子束感生电流 EBIC 技术

电子束感生电流 (EBIC) 技术可通过测量样品或设备暴露于电子束时流动的电流，对半导体材料和设备的局部电气性能进行表征 电子束射到半导体上时，会形成电子空穴对如果载流子（即上文所述的电子空穴对）扩散到带有内置电场的区域，则电子和空穴将分离，电流将流 动当电流流动到外电路时，EBIC 技术会测量该电流在没有重组ZX（自由电子和空穴湮没的位置）的材料中，收集到的电流将是均匀的，而且并 不相关然而，引发电子和空穴重组的样品区域减少了收集电流，造成 EBIC 图中形成对比，因此揭示了半导体样品中（少数）载流子的流动 Gatan 宽束氩离子抛光系统 697 Ilion II Gatan Mono CL4 高分辨成像与光谱分析阴极发光成像系统 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 25/LS 25