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  • 用在线硼分析技术来优化离子交换工艺监测

    有效管理离子交换树脂床,对于实现超纯水系统的最佳性能来说至关重要。再生和更换离子交换树脂时采取的预防性维护计划具有固定的实施频率和很强的时效性;与之相比,在混合树脂床和抛光环路树脂床后面连续实时监测超

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有效管理离子交换(IX,Ion exchange)树脂床,对于实现超纯水(UPW,Ultrapure Water)系统的最佳性能来说至关重要。再生和更换离子交换树脂时采取的预防性维护(PM,Preventative Maintenance)计划具有固定的实施频率和很强的时效性;与之相比,在混合树脂床和抛光环路树脂床后面连续实时监测超纯水水质则是更好的控制策略。


如果在基于时间的树脂更换再生之前,树脂床即将耗尽,有害离子污染物就会进入超纯水。相反,如果过于频繁地再生或更换树脂,则会不必要地增加运营成本。由于离子亲和性的差异,用在线型硼浓度分析仪来检测离子交换的有效性,要优于用在线型二氧化硅分析仪来达到同样目的。


卓有成效的树脂管理要求根据明确且可测量的指标参数来评估树脂床的实际性能,而基于时间的方法无法满足要求,这是因为此法虽然可以避免污染下游工艺,但必须付出运营成本过高的代价。只有进行连续的在线硼监测,才能在规避风险的同时最大限度地提高工艺效率和降低运营成本。

标签:微电子半导体

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