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仪器网/ 应用方案/ 薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统

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首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统曝光时间仅为8s,入射角调到与临界角接近,可以达到实时沉积的亚单层灵敏度 Incoatec Microfocus Source IµS---Incoatec微焦点光源IS

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