电镜及能谱在合金表面成份均匀性分析上的应用

贮氢合金片经镶嵌打磨抛光后在扫描电镜下分别用二次电子背散射电子和X射线能谱对不同状态下的合金进行表面成份分析，观察合金片表面元素成份分布情况，了解合金表面成份的均匀性本项目贮氢合金主成分定性结果与ICP相同， 定量结果与ICP相差小于9%，方法的相对标准偏差小于3.6%，可用于贮氢合金表面的定性分析和成分的均匀性分析 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 10/LS 10 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 15/LS 15 蔡司（ZEISS） EVO 18钨灯丝系列扫描电镜 蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜 蔡司SIGMA 300场发射扫描电镜