2025-01-10 10:50:30三离子束切割仪
“三离子束切割仪”是一种高精度的材料加工设备,它利用三束离子同时作用于材料表面,通过离子束的能量实现精确、高效的切割。该设备具有切割精度高、边缘质量好、适用范围广等特点,能够处理各种硬度和材质的材料。三离子束切割仪在半导体、微电子、光学等领域有着广泛应用,是科研和工业生产中不可或缺的重要工具。通过精确控制离子束的参数,用户可以实现对材料的高精度切割。

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2022-11-25 16:10:30离子束刻蚀(IBE)技术研究
离子束刻蚀(IBE)技术研究 1.离子束刻蚀(IBE)技术的原理?离子束刻蚀(IBE,Ion Beam Etching)也称为离子铣(IBM,Ion Beam Milling),也有人称之为离子溅射刻蚀,是利用辉光放电原理将氩气分解为氩离子,氩离子经过阳极电场的加速对样品表面进行物理轰击,以达到刻蚀的作用。刻蚀过程即把Ar气充入离子源放电室并使其电离形成等离子体,然后由栅极将离子呈束状引出并加速,具有一定能量的离子束进入工作室,射向固体表面轰击固体表面原子,使材料原子发生溅射,达到刻蚀目的,属纯物理刻蚀。工件表面有制备沟槽的掩膜,最后裸露的部分就会被刻蚀掉,而掩膜部分则被保留,形成所需要的沟槽图形。离子束刻蚀使高方向性的中性离子束能够控制侧壁轮廓,优化纳米图案化过程中的径向均匀性和结构形貌。另外倾斜结构可以通过倾斜样品以改变离子束的撞击方向这一独特能力来实现。在离子束刻蚀过程中,通常情况下,样品表面采用厚胶作为掩模层,刻蚀期间富有能量的离子流会使得基片和光刻胶过热。为了便于后面光刻胶的剥离清洗,一般需要对样品台进行冷却处理,使整个刻蚀过程中温度控制在一个比较好的范围。 图1 离子束刻蚀设备结构图图2 离子束刻蚀工艺原理图 2.离子束刻蚀(IBE)适合的材料体系?可用于刻蚀加工各种金属(Ni、Cu、Au、Al、Pb、Pt、Ti等)及其合金,以及非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷、红外和超导等材料。目前离子束刻蚀在非硅材料方面优势明显,在声表面波、薄膜压力传感器、红外传感器等方面具有广泛的用途。 3. 离子束刻蚀(IBE)技术的优点和缺点?a 优点: (1)方向性好、无钻蚀、陡直度高; (2)刻蚀速率可控性好,图形分辨率高,可达0.01um; (3)属于物理刻蚀,可以刻蚀各种材料(Si、SiO2、GaAs、Ag、Au、光刻胶等); (4)刻蚀过程中可改变离子束入射角来控制图形轮廓,加工特殊的结构;b 缺点: (1)刻蚀速率慢、效率比ICP更低; (2)难以完成晶片的深刻蚀; (3)属于物理刻蚀,常常会有过刻的现象。 4.反应离子束刻蚀(RIBE)技术简介及优点?反应离子束刻蚀(RIBE)是在离子束刻蚀的基础上,增加了腐蚀性气体,因此它不但保留了离子束物理刻蚀能力,还增加了腐蚀性气体(氟基气体、O2)离化后对样品的化学反应能力(反应离子束刻蚀:RIBE),也支持腐蚀性气体非离化态的化学辅助刻蚀能力(化学辅助离子束刻蚀:CAIBE),对适用于化学辅助的材料可以大幅度提升刻蚀速率,提高刻蚀质量。 5. 离子束刻蚀(IBE)的案例展示  典型应用:1、三族和四族光学零件2、激光光栅3、高深宽比的光子晶体刻蚀4、在二氧化硅、硅和金属上深沟刻蚀5、微流体传感器电极6、测热式微流体传感器
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2022-08-16 21:44:30福州大学离子束刻蚀机顺利验收
福州大学离子束刻蚀机顺利验收烈日炎炎,热情满心间!后疫情时代,NANO-MASTER工程师步履不停,一站接一站为客户提供设备安装调试服务。首站福州大学,那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机!性能配置:离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质,z大可支持6”晶圆。配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪,650mA,100-1200V。刻蚀速率:~250A/min对Au;刻蚀均匀度:对4”片,片内均匀性优于±3%,重复性优于±3%。样品台可旋转,转速0-30RPM精确可控;可任意角度倾斜,支持斜齿刻蚀;带水冷功能,刻蚀后易去除光刻胶。极限真空12小时可达6x10-7Torr,15分钟可达10-6Torr量级的真空;采用双真空计,长期可靠,使用稳定。14”不锈钢立方腔体,配套一台主控计算机,20”触摸屏监控,配合Labview软件,实现计算机全自动工艺控制,并可在电源中断情况下安全恢复;完全的安全联锁;支持百级超净间使用。验收培训:安装调试视频:
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2025-04-25 14:45:14三厢高低温冲击试验箱怎么安装
三厢高低温冲击试验箱作为一种重要的环境测试设备,广泛应用于电子产品、汽车、航空航天等领域,旨在模拟不同温度环境下的使用条件,以评估产品在极端温度变化下的性能。正确安装三厢高低温冲击试验箱是确保其有效运行和准确测试结果的关键步骤。本文将详细介绍三厢高低温冲击试验箱的安装流程,包括设备的选择、位置确定、连接设置等多个方面,帮助相关工程技术人员顺利完成安装工作,确保设备的高效使用与长期稳定性。 1. 安装前的准备工作 在进行三厢高低温冲击试验箱的安装前,需要对安装场地进行充分的评估。选择一个通风良好、温度适宜且湿度控制稳定的环境。安装位置应避免直射阳光及远离热源或振动源,以免影响试验箱的稳定性和准确性。确保地面平整坚固,以支撑试验箱的重量,避免设备因地面不平而出现倾斜或损坏。 2. 确定电源和气源 三厢高低温冲击试验箱的正常运行需要稳定的电源和气源支持。确保试验箱所需的电压与当前电力供应相匹配,一般试验箱的电源为380V或220V的交流电,需根据设备规格进行选择。接着,检查电源接入的线路和插头是否符合国家电气标准,确保安全使用。 部分三厢高低温冲击试验箱需要气源支持,如压缩空气。因此,气源的安装和维护也不可忽视。气源管道应保持清洁干燥,避免空气中的水分和油分影响试验箱的正常运行。 3. 设备的搬运与定位 在确保场地准备就绪后,便可开始搬运设备。三厢高低温冲击试验箱通常体积较大,重量较重,因此搬运时需要使用专业的起重工具或设备,避免人工搬运时造成损伤。搬运过程中应小心轻放,防止撞击和震动对设备造成损害。 定位时,应根据设备的设计要求和厂房空间来选择佳位置,确保操作人员能够方便地进行操作和维护,同时保持设备周围适当的空隙,以利于空气流通和散热。 4. 安装连接与调试 在试验箱摆放好之后,下一步是进行设备的连接和调试。按照设备的电气接线图连接电源线和气源管道,确保各项连接牢固、安全。然后,进行设备的首次调试,检查温控系统、冷却系统以及加热系统等是否正常运行。 调试过程中,注意观察温度和湿度的变化,确保其达到设定的测试条件,且设备能够快速响应并稳定工作。如有异常,应立即检查并调整设备的各项参数,排除可能的故障。 5. 定期维护与注意事项 在设备成功安装并投入使用后,定期的维护和检查至关重要。设备的长期稳定运行离不开良好的保养和管理。定期检查电气线路、气源设备和温控系统的运行状态,及时清理设备内部的灰尘与杂物,确保其无障碍运行。 三厢高低温冲击试验箱的安装是一个系统性工程,涉及多个方面的准备工作和细致的调试步骤。通过正确的安装和操作,可以确保试验箱在各类高低温冲击测试中的稳定性和精确性,从而为相关产品的质量评估提供可靠的数据支持。
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2025-09-30 17:00:21椭圆偏振仪是什么
在现代光学测量和材料科学领域,椭圆偏振仪是一种不可或缺的精密仪器。本文将系统介绍椭圆偏振仪的原理、功能及应用,帮助读者深入理解其在科研与工业检测中的重要作用。通过对光波偏振特性的测量,椭圆偏振仪能够提供材料表面和薄膜结构的关键参数,为材料性能分析、工艺控制和纳米技术研究提供可靠依据。 椭圆偏振仪的核心功能是测量光的偏振状态。光波在传播过程中,其电场矢量方向可能呈现不同的振动形式,包括线偏振、圆偏振和椭圆偏振。椭圆偏振仪通过精密的光学元件,如偏振片和相位延迟器,能够准确解析入射光与样品相互作用后的偏振变化。这些变化包含了样品的折射率、消光系数及膜厚等信息。与传统的反射率测量相比,椭圆偏振技术具有非接触、高精度和灵敏度高的显著优势,使其在纳米尺度分析中表现尤为突出。 在具体应用中,椭圆偏振仪被广泛用于半导体制造、光学薄膜设计及生物材料研究。在半导体行业,通过测量晶圆表面薄膜的厚度和均匀性,椭圆偏振仪可以帮助工程师优化工艺流程,提升产品良率。在光学薄膜领域,它可以精确检测涂层的折射率和厚度,确保光学器件的性能符合设计要求。生物材料的膜结构和界面特性也可通过椭圆偏振仪进行定量分析,为新型医疗材料的研发提供实验依据。 椭圆偏振仪的工作原理基于光的干涉与偏振分析。当光束经过样品表面反射或透射时,其偏振状态会发生变化。仪器通过测量光的振幅比和相位差,将其转化为椭圆偏振参数(通常表示为Ψ和Δ),进而计算出样品的光学常数。这种测量方式不仅能够提供高精度数据,还能在复杂多层结构中区分各层的光学特性。相比传统光学测量方法,椭圆偏振仪在微米及纳米尺度下的分辨能力更高,尤其适用于薄膜厚度在几纳米到几百纳米的检测。 现代椭圆偏振仪通常配备自动化控制系统和数据分析软件,能够快速获取样品光学参数并生成图表或模型。通过模拟拟合和误差分析,用户可以获得材料的精确折射率、消光系数及膜厚分布。部分高端仪器还支持宽光谱测量,能够在可见光至近红外波段提供连续数据,为光学设计和材料表征提供全方位支持。 总而言之,椭圆偏振仪以其非接触、精确和高灵敏度的特点,在光学测量、材料分析和工业检测中发挥着核心作用。它不仅能够解析复杂材料的光学性质,还能为工艺优化和新材料研发提供科学依据。随着光学技术和自动化水平的不断提升,椭圆偏振仪在科研和工业中的应用前景将更加广阔,为光学测量领域树立了新的技术标杆。
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2025-10-27 16:00:20扫平仪是什么
扫平仪作为一种高效的土地平整工具,在现代建筑和农业生产中扮演着日益重要的角色。随着城市化进程的加快和农业现代化的发展,扫平仪的使用范围不断扩大,它不仅提升了土地整理的效率,还改善了施工和农业作业的质量。本文将全面介绍扫平仪的定义、工作原理、主要类型、应用领域及未来发展趋势,旨在帮助读者深入理解这一关键设备的核心价值和实际应用。 一、什么是扫平仪 扫平仪,也称平整机或土地平整机,是一种专门用于土地平整和场地清理作业的机械设备。它通常由底盘、履带或轮胎系统、平整刀具或刮板、动力装置以及控制系统组成。通过机械化操作,扫平仪可以快速高效地将不平整的土地、场地杂物或废弃物清理平整,为后续施工或农业生产奠定坚实基础。 二、扫平仪的工作原理 扫平仪的核心原理在于通过动力装置带动刮板或平整刀具,在作业面上进行水平、垂直或角度调节,从而实现土地的平整。操作员控制设备的行进路径和刀具角度,确保整个场地平整均匀。现代扫平仪配备智能控制系统和传感器,可以实现自动导航和精确调节,有效减少人为误差,提高操作效率。 三、主要类型和分类 根据用途和结构特点,扫平仪主要可以分为几类: 手推式扫平仪:适合小型场地或局部修整,操作灵活方便。 自走式扫平仪:配备驾驶座和自动导航系统,适合大面积土地平整,不仅提高效率,也减轻操作人员负担。 履带扫平仪:具有更强的越障能力和牵引力,适合崎岖或硬度较高的土壤。 多功能复合型扫平仪:集平整、耕作和播种等多种功能于一体,提高作业的综合效率。 四、扫平仪的应用领域 扫平仪的应用范围广泛,具体包括: 建筑工程:在基坑开挖、地基整平、场地平整等环节发挥重要作用,为后续施工提供基础。 农业生产:在农田整地、播种前的准备工作中,确保土地平整,提升产量和品质。 生态修复:在荒地恢复、边坡整治中,用于调整土地坡度和表面平整。 公路交通:用于高速公路、铁路等大型基础建设中的场地平整工作。 市政工程:整治公共空间、铺设绿化带或修复道路表面。 五、未来发展趋势 随着科技不断进步,扫平仪未来的发展将集中在智能化、机械化和环保节能方面。智能导航、自动避障和远程控制技术将提升设备的作业效率和安全性。新能源驱动的扫平仪也将逐渐取代传统内燃机型,减少碳排放,促进绿色施工理念的普及。未来的扫平仪还将结合数据分析和云平台管理,实现设备状态监控和作业优化,推动行业向数字化、智慧化迈进。 总结来看,扫平仪作为现代土地平整的重要工具,其技术不断创新和应用拓展正在推动建筑、农业及相关产业的高效发展。具备多样化的功能和的性能,未来的扫平仪将更加智能、环保,以应对不断变化的市场需求和环境挑战,成为基础设施建设和绿色农业的重要伙伴。
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